基于W3光子晶体缺陷波导的分布式反馈激光器及制备方法

摘要

本发明实施例提供一种基于W3光子晶体缺陷波导的分布式反馈激光器及制备方法，分布式反馈激光器包括P电极、P掺杂层、量子阱有源层、N掺杂层和N电极；有源光子晶体波导层中包括有两个微孔波导阵列，分布在P电极的两侧，微孔波导阵列由多个微孔按照预设阵列结构排列形成，每个微孔均贯穿P掺杂层、量子阱有源层和N掺杂层，并在衬底上表面截止；沿线缺陷光子晶体波导方向去除二维图形结构中的3列微孔，形成W3光子晶体缺陷波导。本发明实施例利用W3光子晶体缺陷波导中前向波与反向波耦合产生的慢光效应设计超短激光谐振腔，从而可以降低芯片体积，进而可以降低器件成本并提高芯片可集成性能。