用于多束带电粒子检查装置的信号分离器

摘要

一种用于检查样本的多束带电粒子柱，包括用于朝向样本指引多个初级带电粒子束的源、用于检测来自样本的信号带电粒子的检测器，以及布置在检测器和样本之间的组合的磁偏转单元和静电偏转单元。磁偏转单元(61)包括磁性或铁磁性材料的多个条(63)。每个条位于与所述轨迹之一相邻的磁偏转单元处的初级带电粒子束的轨迹(71)的节距相等的距离内。所述条被配置为建立基本上垂直于所述轨迹的磁场(B)。静电偏转单元(62)被配置为用于创建基本上垂直于磁场的静电场。磁偏转单元和静电偏转单元在平行于初级带电粒子束的轨迹的方向上间隔开。