扭矩传感器、扭矩传感装置、扭矩传感系统及其测量方法

摘要

公开了一种扭矩传感器，包括衬底；扭矩敏感单元，位于所述衬底上，感测转动轴的扭矩形变，输出扭矩感测信号；弯矩敏感单元，位于所述衬底上，感测转动轴的弯矩形变，输出弯矩感测信号。本发明的扭矩传感器通过额外设置弯矩敏感单元，同时获得扭矩感测信号和弯矩信号，采用弯矩信号对扭矩感测信号进行补偿，消除弯矩对扭矩感测信号的影响，可以提高测量的扭矩值的准确度。