公开/公告号CN111863572A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-30
原文格式PDF
申请/专利权人 上海凯世通半导体股份有限公司;上海临港凯世通半导体有限公司;
申请/专利号CN201910339992.3
申请日2019-04-25
分类号H01J37/141(20060101);G05B13/04(20060101);
代理机构31283 上海弼兴律师事务所;
代理人薛琦;李梦男
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区牛顿路200号7号楼单元1
入库时间 2023-06-19 08:42:38
机译: 带电粒子束辐照系统,带电粒子束监测装置,带电粒子束监测方法和带电粒子束辐照系统控制方法
机译: 电磁透镜,带电粒子束传输装置以及电磁透镜的制造方法
机译: 带电粒子发射器组,带电粒子发射器,焊接设备,带电粒子束柱组和带电粒子束组。