带电粒子束装置及其控制方法、以及复合带电粒子束装置

摘要

本发明提供带电粒子束装置及其控制方法、以及复合带电粒子束装置，在切换了物镜的加速模式与减速模式或变更了构成物镜的增强器电极的施加电压的情况下，能够得到与切换或变更前同等的无畸变的尺寸准确的试样表面的扫描像。带电粒子束装置具备：带电粒子源，其产生带电粒子；多个扫描电极，它们对带电粒子产生用于使带电粒子偏转的电场，该带电粒子是通过向带电粒子源施加加速电压且向引出带电粒子的引出电极施加引出电压而放出的带电粒子；静电透镜，其配置在多个扫描电极与试样台之间，将通过扫描电极偏转后的带电粒子束会聚；以及处理部，其取得测定条件，基于取得的测定条件，分别设定向多个扫描电极施加的扫描电压。