一种用于检测氧化镓单晶加工表面损伤层的腐蚀液及检测方法

摘要

本发明公开了一种检测氧化镓单晶加工后表面层损伤的腐蚀液及腐蚀方法，腐蚀液包括硫酸溶液和磷酸溶液，以体积百分比计算，硫酸溶液占10％—30％，浓度不低于98％；磷酸溶液占70％—90％，浓度不低于85％。检测方法，包括：配制腐蚀液，以体积百分比计算，硫酸溶液占10％—30％，浓度不低于98％；磷酸溶液占70％—90％，浓度不低于85％；加热腐蚀液，将配制成的腐蚀液加热至80—95℃后；腐蚀，氧化镓单晶片放入其中进行腐蚀，腐蚀时间为1‑6分钟；清洗，将所述的腐蚀后的氧化镓单晶片取出，放入去离子水中清洗；检测，将清洗后的氧化镓单晶片检测其亚表面损伤。本发明所述的腐蚀液具有非常好的择优腐蚀性，腐蚀后的氧化镓单晶表面层损伤显示清晰，腐蚀温度较低，速率快。