公开/公告号CN111811446A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-23
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱日立电力系统株式会社;
申请/专利号CN202010238623.8
申请日2020-03-30
分类号G01B21/00(20060101);G01B11/00(20060101);
代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人张敬强;李平
地址 日本神奈川县
入库时间 2023-06-19 08:36:28
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-31
授权
发明专利权授予
机译: 气体浓度-厚度乘积计测装置,气体浓度-厚度乘积计测方法,气体浓度-厚度乘积计测程序,以及记录有气体浓度-厚度乘积计测程序的计算机可读取的记录介质
机译: 气体浓度厚度积计测装置,气体浓度厚度积计测方法,气体浓度厚度积计测程序以及记录气体浓度厚度积计测程序的计算机可读记录介质
机译: 气体浓度厚度积计测装置,气体浓度厚度积计测方法,气体浓度厚度积计测程序以及记录气体浓度厚度积计测程序的计算机可读记录介质