等离子体处理系统中的调制电源的改进应用

摘要

本发明公开了等离子体处理系统和方法。该系统可以包括调制等离子体性质的至少一个调制电源，其中等离子体性质的调制具有重复周期T。同步模块被配置为向连接到等离子体处理系统的至少一件设备发送具有T的整数倍的同步信号重复周期的同步信号。波形通信模块向连接到等离子体处理系统的至少一件设备传送表征波形的特性以能够使连接到等离子体处理系统的多件设备同步。表征波形可以包含关于等离子体调制的信息或关于连接到等离子体处理系统的一件设备的期望的波形的信息。