公开/公告号CN111766259A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-13
原文格式PDF
申请/专利权人 诺威量测设备公司;
申请/专利号CN202010616765.3
申请日2015-06-19
分类号G01N23/2204(20180101);G01N23/223(20060101);G01N23/2273(20180101);G01B15/02(20060101);
代理机构11240 北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人王红艳
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 08:31:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-07-28
授权
发明专利权授予
机译: XPS XRF---利用XPS和XRF技术实现多层和多过程信息的前馈
机译: 使用XPS和XRF技术的多层和多过程信息的前馈
机译: 使用XPS和XRF技术的多层和多过程信息的前馈