用于3D感测应用的集成电子模块以及包括集成电子模块的3D扫描设备

摘要

本公开的各实施例涉及用于3D感测应用的集成电子模块以及包括集成电子模块的3D扫描设备。基板和耦合到该基板的覆盖结构形成腔室。该腔室容纳被配置为发射辐射的发射器、谐振反射器、检测器和固定反射器。第一和第二窗口延伸穿过覆盖结构。发射器、第一反射器和第二反射器被相互地布置，使得从发射器发射的辐射被固定的反射器朝向MEMS反射器反射，以朝向第一窗口进行另外的反射，以形成输出信号。检测器和第二窗口被相互地布置，使得穿过第二窗口的入射辐射被检测器接收。电子模块可以用于3D感测应用。