一种三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体及其制备方法

摘要

本发明公开了一种三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体及其制备方法，三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体，包括以下结构通式：其中，R1和R2分别包括C1～C12烷基、杂烷基或连接键；R3包括氢、卤素、C1～C12烷基或杂烷基，其制备方法，包括以下步骤：将三氟磺酰类化合物加入到氨基六氢茚满醇类化合物和碱混合液中，反应得到三氟磺酰胺六氢茚满醇类化合物；将三氟磺酰胺六氢茚满醇类化合物与丙烯酸类化合物混合，经过酯化反应，纯化得到三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体。本发明合成的三氟磺酰胺六氢茚满类光刻胶树脂单体具有抗溶胀、碱溶性和疏水性，且制备方法简单方便。