基于可视化电阻抗层析成像技术的压阻式柔性传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了基于可视化电阻抗层析成像技术的压阻式柔性传感器及其制造方法，属于柔性压力传感器技术领域。该压阻式柔性传感器包括使用PDMS柔性薄膜的上、下隔离层，以及位于上、下隔离层之间的Ag/MWCNTs/PDMS柔性导电复合材料压阻层，压阻层由具有金字塔微结构的Ag/MWCNTs/PDMS薄膜面对面组装，并且在压阻层的一侧均匀分布8个矩形电极。矩形电极通过导线接入电阻抗层析成像系统，实现信号采集；将采集信号通过图像重构算法，实现所施加压力的可视化测量。本发明可以提高压阻式柔性传感器的灵敏度，降低响应时间，实现施加压力的大小和位置测量，可以用于大面积、可变形检测领域。