公开/公告号CN111670335A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-15
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201980011304.9
申请日2019-01-15
分类号G01B9/02(20060101);G03F7/20(20060101);G01J9/02(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王益
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 08:16:01
机译: 波长跟踪系统,校准波长跟踪系统,光刻设备,确定可移动物体的绝对位置的方法,以及干涉仪系统的方法
机译: 波长跟踪系统,校准波长跟踪系统的方法,光刻设备,确定可移动物体的绝对位置的方法以及干涉仪系统
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