公开/公告号US2021072088A1
专利类型
公开/公告日2021-03-11
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US201916965753
发明设计人 ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS VAN DER PASCH;MAARTEN JOZEF JANSEN;SUZANNE JOHANNA ANTONETTA GEERTRUDA COSIJNS;KOEN GOVERT OLIVIER VAN DE MEERAKKER;IVO WIDDERSHOVEN;
申请日2019-01-15
分类号G01J9/02;G01B11;G03F7;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-24 17:38:38