公开/公告号CN113994266A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN202080043037.6
申请日2020-05-11
分类号G03F9/00(20060101);G03F7/20(20060101);G01B9/02(20220101);G01J9/02(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王益
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 14:01:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-24
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2020800430376 申请日:20200511
实质审查的生效
机译: 干涉仪系统,确定干涉仪系统的激光源的模跳的方法,确定可移动物体的位置的方法以及光刻设备
机译: 波长跟踪系统,校准波长跟踪系统,光刻设备,确定可移动物体的绝对位置的方法,以及干涉仪系统的方法
机译: 波长跟踪系统,校准波长跟踪系统的方法,光刻设备,确定可移动物体的绝对位置的方法以及干涉仪系统