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公开/公告号CN111650819A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-11
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海应用物理研究所;同济大学;
申请/专利号CN202010575583.6
发明设计人 赵俊;梁兆峰;杨树敏;薛超凡;王连升;吴衍青;邰仁忠;程鑫彬;邓晓;顾振杰;唐朝辉;李同保;
申请日2020-06-22
分类号G03F7/20(20060101);G03F1/68(20120101);
代理机构31225 上海科盛知识产权代理有限公司;
代理人王怀瑜
地址 201800 上海市嘉定区嘉罗公路2019号
入库时间 2023-06-19 08:14:27
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