一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法

摘要

本发明涉及太阳能电池生产领域，一种检测管式PECVD的质量流量计是否正常的方法，管式PECVD的上的质量流量计为正常流量计时，记录管式PECVD的炉管压力最低时的压力值，记录正常质量流量计量程范围内多个不同流量值一一对应的管式PECVD的炉管压力，记录每个对应的管式PECVD的炉管压力与压力差值，记录压力算术平均值为；进行正常的管式PECVD镀膜工作，记录待检测的质量流量计与步骤一正常质量流量计对应多个值，如果偏差超出正常范围，需要更换新的质量流量计。