公开/公告号CN111623726A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-04
原文格式PDF
申请/专利权人 华侨大学;泉州市华工智能技术有限公司;
申请/专利号CN202010686022.3
申请日2020-07-16
分类号G01B11/25(20060101);G06F17/11(20060101);G06F17/14(20060101);
代理机构35205 泉州市文华专利代理有限公司;
代理人陈雪莹
地址 362000 福建省泉州市城华北路269号华侨大学
入库时间 2023-06-19 08:11:16
机译: 干涉条纹检查装置,干涉条纹检查方法以及使用干涉条纹的检查方法
机译: 干涉条纹形成方法,干涉条纹形成装置以及干涉条纹形成介质的制造方法
机译: 干涉条纹数据产生装置,干涉条纹数据产生方法和干涉条纹数据产生程序