一种基于空间载频干涉法的相位解包新算法

摘要

干涉图的处理是光干涉计量中的关键技术。现代干涉测量技术具有高精度、非接触性和大视场等的测量优点。采用泰曼一格林型干涉系统，建立被测物与干涉相位之间的数学模型，通过数字图像算法编制软件处理，从而实现薄膜样片厚度的自动化测量。本文提出了一种新的相位解包算法，该算法通过识别一个种子点，依次向相邻四点扩展，再把这四个点作为第二批种子点，依次向各自的四点邻域扩展，以菱形轨迹遍历所有的有效信息点，以到达整个图象的相位解包。