超精密气浮止推轴承局部气膜动静态压力检测装置及方法

摘要

本发明公开了超精密气浮止推轴承局部气膜动静态压力检测装置，包括检测装置和检测方法，检测装置包括高精度测量机床、加载模块、测量模块、供气模块和待测止推圆盘，高精度测量机床包括三坐标定位机床、超精密气体静压轴承和光学大理石平台，加载模块包括连接件、数控液压推力杆、加载装置控制后端和电子水平仪，测量模块包括大理石隔震基座、薄膜无线压力传感器、速度传感器、压力速度数据处理模块和传感器数据显示终端，供气模块包括空压机、空气过滤器、增压阀、大体积气罐、数显流量计、减压阀和压力表；该装置能够实现不同供气压力、气膜厚度和外部加载情况下对多种节流器参数模型进行动态和静态工作状态的气膜压力测量，解决参数验证问题。