一种基于热对流原理的柔性加速度传感器

摘要

本发明公开了一种柔性的基于热对流原理的加速度传感器，包括由聚二甲基硅氧烷材料制备的带有空腔的顶盖；含有气体包括空气、惰性气体等，亦或是液体包括水、油填充物的腔体；安置于密封腔体中部位置的加热元件；若干安置于密封腔体内并围绕加热元件对称的感温元件；由聚酰亚胺、柔性PVC聚合物材料制备的柔性衬底。通过测量电路与感温元件构成惠斯通电桥，通过测量惠斯通电桥上两端的电压值变化，结合比例关系进而得到加速度的大小。本发明采用微机械热对流式加速度传感器工作原理，无悬空、可动结构的柔性加速度传感器，相比于已有的柔性加速度传感器，极大的提高了柔性加速度传感器的可靠性、耐冲击性；降低了制造成本、工艺复杂度。