旋转离心量对旋涂薄膜晶态影响在线光学测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种旋转离心量对旋涂薄膜晶态影响在线光学测量系统及方法，包括光源模块(100)、入射光束调整模块(200)、偏振态调控模块(300)、偏振态检测模块(400)和光束采集模块(500)，光源模块(100)输出准直单色光束，经入射光调节模块(200)形成具有设定光束截面形状与尺寸的线光束，经偏振态调控模块(300)形成具有设定偏振方位角的照明光束，由样品反射后形成反射光束，经偏振态检测模块(400)形成设定偏振方向的线性偏振光，由光束采集模块(500)进行光束截面光强的面阵测量。本发明能够实现入射光束的偏振态调控，获取多偏振方位角的样品信息；有效区分样品不同离心位置的光信号；光路结构简单、扩展性好、光器件互换性好。