一种旋涂工艺制备薄膜的在线光学测量系统与方法

摘要

本发明公开了一种旋涂工艺制备薄膜的在线光学测量系统及方法，包括依次连接的光源模块(100)、入射光束调节模块(200)、反射光束调节模块(300)、光束收集模块(400)和光谱采集模块(500)，所述光源模块(100)输出复色非偏振光，经所述入射光束调节模块(200)形成具有设定照明面积的照明光束；由照明光束产生的反射光束经所述反射光束调节模块(300)调整传播方向，经由所述光束收集模块(400)耦合到所述光谱采集模块(500)。与现有技术相比，本发明通过调整光谱仪的采样频率，匹配不同转速的旋涂工艺设备；并且，采用大口径光纤准直器与粗芯径多模光纤的配合使用，有效地提高了样品反射光束的收集能力；光路结构简单，扩展性好，光器件互换性好。