一种光学元件用透明衍射薄膜的旋涂制备方法

摘要

一种光学元件用透明衍射薄膜的旋涂制备方法，其主要包括清洗基底、放置基底、涂胶、静置、匀胶、二次涂胶、二次匀胶、第N次涂胶、第N次匀胶、静置48小时以上、烤胶、揭胶等步骤。本发明方法可用于制备口径≤300mm、面形精度PV<0.5μm、膜层厚度可控的多台阶或连续台阶透明膜基衍射光学元件，解决制备过程中面形精度低、膜层厚度不可控、透明膜基衍射光学元件衍射效率低的问题。