Mg掺量对Zn1-xMgxO薄膜结构与光学性能的影响

摘要

利用射频磁控溅射技术在(100)Si片和玻璃衬底上沉积Zn1-xMgxO(x=0-0.2)薄膜，采用X-射线衍射仪、和紫外-可见光分光光度计研究了Mg掺杂含量对Zn1-xMgxO薄膜结构与光学性能的影响。XRD图谱表明，Zn1-xMgxO薄膜均为六角纤锌矿结构，薄膜呈现出c轴择优生长特性，但随着x值的增加，晶格常数c逐渐减小。当x＞0.1时，薄膜出现(100)面衍射峰，薄膜的c轴择优生长特性减弱。紫外可见光透射光谱表明，Mg的掺入提高薄膜在可见光范围内的透过率；同时增大了薄膜的禁带宽度。