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树脂组合物的流动性评价方法、树脂组合物的分选方法以及半导体装置的制造方法

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摘要

本公开涉及树脂组合物的流动性评价方法。该方法包括：准备由树脂组合物构成的试样的工序；以及通过对试样赋予应变且在温度(T)下测定试样的剪切弹性率，来掌握温度(T)下的试样的剪切弹性率的经时性变化的工序。

著录项

  • 公开/公告号CN111801567A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-10-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日立化成株式会社;

    申请/专利号CN201880090757.0

  • 发明设计人 祖父江省吾;牧野龙也;

    申请日2018-03-06

  • 分类号G01N11/00(20060101);G01N3/00(20060101);H01L21/56(20060101);

  • 代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人徐殿军

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2023-06-19 08:00:20

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-06-27

    著录事项变更 IPC(主分类):G01N11/00 专利申请号:2018800907570 变更事项:申请人 变更前:日立化成株式会社 变更后:株式会社力森诺科 变更事项:地址 变更前:日本东京 变更后:日本东京

    著录事项变更

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