基于异质驱动单元的微型热力阵列及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于异质驱动单元的微型热力阵列及其制备方法，所示基于异质驱动单元的微型热力阵列，包括：衬底，所述衬底上设有呈阵列状布置的多个微驱动器，所述微驱动器包括设于衬底表面上的薄膜电阻加热器以及导热硅柱，所述薄膜电阻加热器的表面设有聚合物驱动结构层，且所述导热硅柱内嵌于聚合物驱动结构层的内部。本发明能够改善内部热场分布均匀性和传输速度，有效提升热驱动的效率，能够显著的改善聚合物内部的温度场分布的均匀性，充分发挥聚合物的热膨胀系数大的优点，最大效率的提升驱动效率，提升驱动结构末端响应位移，能够实现对典型的微机电系统结构(如薄板等)加工误差或面外变形的精准调控/矫正。