公开/公告号CN109079618A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-25
原文格式PDF
申请/专利权人 广州市镭迪机电制造技术有限公司;
申请/专利号CN201811094589.0
发明设计人 陈芝文;
申请日2018-09-19
分类号
代理机构广州瑞之凡知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人邹俊煊
地址 511430 广东省广州市番禺区大石街105国道猛涌村新兴广场7号楼一层
入库时间 2023-06-19 07:54:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-18
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B13/01 申请日:20180919
实质审查的生效
2018-12-25
公开
公开
机译: 用于镜面抛光半导体晶片的抛光垫,抛光方法和抛光机
机译: 用于镜面抛光半导体晶片的抛光垫,抛光方法和抛光机
机译: 用于抛光机的抛光海绵包括正面抛光表面,该抛光表面在其边界附近设有圆形凹槽(4)