具有改进的屏蔽的静电力检测器以及使用静电力检测器的方法

摘要

一种用于测量被测表面(“SUT”)的静电力的静电力检测器(“EFD”)包括：包含悬臂和探针的力检测器。EFD具有屏蔽件，该屏蔽件具有探针延伸穿过的孔并被定位成防止来自SUT的静电到达悬臂以及探针的大部分，并且防止光到达SUT。一种用于为测量SUT上的电荷的EFD选择电压范围的方法包括：利用EFD在估计的电压范围端点处或估计的电压范围端点附近对两个电压进行测量，以及随后对极性进行对比。如果极性不同，选择估计的电压范围。但是，如果极性相同，则调整估计的电压范围以提供新的估计的电压范围，出于确定SUT上的电荷是否在该范围内的目的，该新的估计的电压范围随后将被测试。