采用接触式法大规模定点捕获微米球的方法

摘要

本发明为采用接触式法大规模定点捕获微米球的方法，以微纳米加工工艺制备的硅微米结构作为器件结构基础，采用方法一和方法二，分别实现无跨越微米结构的定点捕获和跨越微米结构的定点捕获。这两种方法通过以宏观手势控制微观小球运动的方式，实现了低成本、接触式的操纵微粒移动与捕获，操作过程约十分钟，操作人员无需特殊技能培训，操作设备价格低廉。该方法可以快速、高效、可重复地控制微粒的移动，实现大面积范围内的微米球移动和定点捕获。