湿式洗净装置及湿式洗净方法

摘要

本发明是在使用碳酸气体溶解水的湿式洗净工艺中，高度地去除混入于碳酸气体溶解水中的极微小微粒而防止微粒污染，并将被洗净物洗净成高洁净度。本发明的湿式洗净装置，其通过使碳酸气体溶解于超纯水而成的碳酸气体溶解水洗净被洗净物，其特征在于，其具有：碳酸气体溶解机构，该碳酸气体溶解机构使碳酸气体溶解于超纯水中；被洗净物的洗净机构，该被洗净物的洗净机构被供给来自该碳酸气体溶解机构的碳酸气体溶解水；及过滤膜模组，该过滤膜模组设置在将该碳酸气体溶解水供给至该洗净机构的配管上且填充具有阳离子性官能基的多孔性膜。