公开/公告号CN109031242A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-18
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州元联传感技术有限公司;
申请/专利号CN201810784084.0
申请日2018-07-17
分类号G01S7/481(20060101);
代理机构32257 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人李广
地址 215000 江苏省苏州市工业园区普惠路456号
入库时间 2023-06-19 07:48:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-24
著录事项变更 IPC(主分类):G01S7/481 变更前: 变更后: 申请日:20180717
著录事项变更
2019-01-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G01S7/481 申请日:20180717
实质审查的生效
2018-12-18
公开
公开
机译: 具有远心镜头的双轴扫描仪,采用该双轴扫描仪的激光加工设备以及用于校正由光学系统的结构导致的远心误差的方法
机译: 优化光学系统的使用和功能,在远心暗场照明的情况下在轴上实现光学系统。
机译: 带有该投影光学系统的两侧远心投影光学系统和曝光设备