基于夏克哈特曼法的紫外光能分布探测系统及其探测方法

摘要

本发明公开了一种基于夏克哈特曼法的紫外光能分布探测系统及其探测方法，包括准分子紫外激光器、第一反射镜、第二反射镜、紫外扩束镜、透镜阵列、针孔板、紫外光功率计和计算机，准分子紫外激光器发出紫外光束，经第一反射镜反射至第二反射镜，经第二反射镜反射至紫外扩束镜，经扩束镜扩束后入射至透镜阵列，透镜阵列将扩束后的紫外激光采样聚焦并入射至针孔板，部分紫外光通过针孔板上的小孔入射至紫外光功率计并将其所测数据送入计算机，移动针孔板的位置使不同采样位置的激光通过并入射至紫外光功率计，最终获得紫外激光光能的分布情况。本发明能够实现光纤光栅刻写系统中紫外光能分布的探测，从而对光纤光栅的刻写提供指导，提高光栅刻写质量。