用于在光子集成电路中的应用的MEMS倾斜反射镜

摘要

本申请涉及用于在光子集成电路中的应用的MEMS倾斜反射镜。一种集成光学组件包括光学器件安装部。光学器件安装部上设置有用于提供光束的光源和被配置为用于聚焦光束的透镜。集成光学组件包括机械耦合到光学器件安装部的光子集成电路(PIC)。PIC在其上设置有用于接收光束并将光束耦合到波导中的光栅耦合器。集成光学组件包括微机电系统(MEMS)反射镜，其被配置为接收来自透镜的光束并将所述光束重定向到光栅耦合器。MEMS反射镜的反射部分的位置是可调整的，以影响所述光束在光栅耦合器上的入射角。