一种基于表面等离子体亚波长光栅的偏振分束器

摘要

本发明提供了一种基于表面等离子体亚波长光栅的偏振分束器，包括等离子体亚波长光栅和以相同间隔平行设于所述等离子体亚波长光栅两侧的J型硅波导与第一输出硅波导，所述等离子体亚波长光栅依次包括第一亚波长光栅层、金属覆盖层和第二亚波长光栅层，所述金属覆盖层位于宽度相等的两个所述亚波长光栅层之间，所述J型硅波导包括弧形硅波导和连接在所述弧形硅波导两端的输入硅波导与第二输出硅波导。本发明的有益效果是：本发明提供的偏振分束器通过将表面等离子体与亚波长光栅的优势结合，大大减少了耦合长度，实现了尺寸减小的目的，并且获得偏振消光比高、插入损耗低、工作带宽大的效果。