一种金刚石氮空位扫描与AFM集成的高精度测磁显微装置

摘要

本发明属于原子力显微镜与金刚石氮空位测磁领域，具体为一种金刚石氮空位扫描与AFM集成的高精度测磁显微装置，装置由实验座、中央磁场台、AFM实验台和NV激发收集系统组成。其中由外基座通过减震弹簧连接中央减震台；磁场固定台上搭载AFM系统，其中AFM系统由四象限光电座、探针台、样品台和激光台组成；磁场固定台搭载NV激发收集系统，激光器发射的激光经过激发光纤在转换头由二色镜反射后聚焦于探针针尖激发金刚石NV。多次聚焦的激光聚焦于靠近样品的探针针尖上，激发生成的荧光由位于探针下方的荧光收集镜采集经收集光纤传送至光子计数器分析其荧光信号；激光台控制激光聚焦于探针的悬臂反射至四象限光电转换器，检测探针振动频率的偏移计算原子作用力。