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用显微拉曼扫描成象法测集成电路中CoSi2电极引起的应力

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用显微拉曼扫描成象（ｍａｐｐｉｎｇ）法测集成电路中ＣｏＳｉ２电极引起的应力李碧波黄福敏张树霖（北京大学物理系北京１００８７１高玉芝张利春（北京大学微电子所北京１００８７１）ＳｔｒｅｓＩｎｄｕｃｅｄｂｙＣｏＳｉ２ＧｒｏｗｎｏｎＰｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｉｎ...

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来源
《光散射学报》 |1997年第2期|202-204|共3页
作者
李碧波; 高玉芝;
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作者单位

北京大学物理系;

北京大学微电子所;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类测试和检验;
关键词
集成电路; 显微拉曼扫描; 应力; 钴硅化合物; 电极;

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