公开/公告号CN108933093A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-04
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社平间理化研究所;
申请/专利号CN201711232549.3
发明设计人 中川俊元;
申请日2017-11-29
分类号H01L21/67(20060101);G03F7/30(20060101);G06Q10/06(20120101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王婷
地址 日本国神奈川县
入库时间 2023-06-19 07:34:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-04
公开
公开
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