基于激光频率扫描干涉测距的三维测量系统

摘要

本发明公开了基于激光频率扫描干涉测距的三维测量系统。基于脉冲法和相位法激光测距原理的三维测量系统精度较低。本发明通过扩束镜将经过偏振的激光扩束并照射在待测区域，激光将在目标物体表面发生漫反射，产生的回波光被接收镜头接收后进入偏振分光镜，与偏振参考光发生差频干涉；干涉信号被光电探测器阵列接收；通过测得在激光器一次扫描周期中探测到的干涉条纹数以及由FP谐振腔测得激光器的频率扫描范围，根据激光频率扫描干涉测距公式计算得到光电探测器阵列各个像素点的距离信息；结合APD阵列的单个像素点尺寸以及放大倍率得到目标待测范围各点的实际二维坐标，然后结合距离数据，实现激光三维测量。本发明测距精度高，系统稳定性好。