金属线及金属线栅的制备方法以及线栅偏振片、电子装置

摘要

一种金属线的制备方法、金属线栅的制备方法以及线栅偏振片、电子装置。该金属线的制备方法包括：在衬底基板上形成金属材料层；采用包括刻蚀气体与涂层反应气体的复合气体对金属材料层进行刻蚀以形成金属线以及金属线的表面的保护涂层。采用该制备方法形成金属线时，金属线的表面在刻蚀过程中即可形成保护涂层，该保护涂层可以对金属线形成保护，例如可以使所形成的金属线的形貌更接近于目标形貌。