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公开/公告号CN108899761A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN201810763094.6
发明设计人 熊迪;谭满清;郭文涛;曹营春;赵亚利;
申请日2018-07-12
分类号H01S5/20(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李坤
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-06-19 07:24:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-12-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S5/20 申请日:20180712
实质审查的生效
2018-11-27
公开
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