对金属互连结构具有增强粘附性的纳米线接触垫

摘要

本发明公开一种包括触敏观看区域的电容式触敏装置，该电容式触敏装置被配置为通过检测耦合电容的变化来检测施加至触敏观看区域的触摸的位置。边界区域围绕触敏观看区域。导电的第一电极包括有源部分和处于第一电极的末端处的端部部分，该有源部分设置在触敏观看区域中并且延伸跨越触敏观看区域，该端部部分设置在边界区域中以用于与控制器连接。第一电极的有源部分在观看区域上具有基本上均匀的第一薄片电阻。第一电极的端部部分以导电网的形式图案化，该导电网包括将多个空隙限定在其间的多个互连导电迹线，迹线基本上具有第一薄片电阻，并且空隙具有较高的第二薄片电阻。