具有增强的电迁移可靠性的互连结构及其制造方法

摘要

本发明提供一种具有增强的电迁移(EM)可靠性的互连结构及其制造方法。本发明的互连结构通过至少部分地在金属互连内引入EM防止衬(66)而避免了EM失效导致的电路完全断开。在一实施例中，提供“U形”EM防止衬，其邻接将导电材料(64，68)与电介质材料(54B)分隔开的扩散阻挡层。在另一实施例中，一间隔位于“U形”EM防止衬和扩散阻挡层之间。在又一实施例中，提供邻接扩散阻挡层的水平EM衬。在再一实施例中，一间隔存在于水平EM衬和扩散阻挡层之间。