用于太赫兹波段增透的碲化锌晶体表面微结构的制备方法

摘要

本发明公开了一种用于太赫兹波段增透的碲化锌晶体表面微结构的制备方法，用于解决现有方法制备的碲化锌晶体表面微结构透过率差的技术问题。技术方案是将碲化锌晶体机械抛光和化学抛光；用溴甲醇溶液腐蚀碲化锌晶片一定时间，运用反应离子刻蚀的方法采用合适的气氛、功率和气压在碲化锌的上下两个面刻蚀出微结构，刻蚀完之后最后将碲化锌晶片装入晶片夹具，形成器件使用。由于使用了反应离子刻蚀的方法进行表面微结构的刻蚀，使用了优化的工艺和制备参数，相对于背景技术太赫兹透过率提高了30％以上，增透程度最高达到150％以上，总体均匀增透，同时也降低了生产成本，实用性好。