一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置

摘要

本发明公开了一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置，包括传输机构和平移机构，传输机构包括多根穿过真空室两侧侧板的传动杆，传动杆的两端分别安装在两块安装板上，在真空室外的传动杆外套有波纹管，传动杆一端的末端安装有同步带轮，相邻两根传动杆上的同步带轮安装位置相对，两块安装板上的马达通过同步带与同侧的传动杆上的同步带轮连接，在真空室内的传动杆上装有摩擦轮，相邻两根传动杆上的摩擦轮交错排布，平移机构包括平移马达、丝杠、丝杠螺母、平移导向装置，平移马达通过同步带与丝杠连接，丝杠螺母通过连接杆与安装板连接。本发明实现了同一真空室环境下对多个基片架进行往返传输，缩短了真空设备的长度，提高了生产效率。