一种增强应力迁移可靠性的互连线结构

摘要

本发明提供一种增强应力迁移可靠性的互连线结构，属于集成电路技术领域，包括：相互之间电性连接的金属一和金属二，所述金属一的宽度大于所述金属二的宽度；所述金属一内设置多个凹槽。本发明的有益效果：由于存在凹槽，互连线结构内总的空位含量会相对降低；凹槽附近存在较大张应力梯度，金属一内的大量空位会聚集在凹槽附近，尤其是在凹槽密集区；减小了金属一与金属二的接触界面及接触界面附近的张应力梯度，减小了导通通孔与金属一的接触界面及接触界面附近的张应力梯度，降低了空位向关键位置的迁移速度；因此，本发明减少了可向关键位置迁移的空位量并降低了空位的迁移速度，从而提高应力迁移可靠性。