测试基板及延长测试基板使用寿命的方法

摘要

本发明提供一种测试基板，用于在干刻蚀制程中被进行刻蚀模拟，测试基板包括：玻璃基板，以及制备于玻璃基板表面的刻蚀层，刻蚀层用于被干刻设备刻蚀形成图案，且阻挡刻蚀力作用于玻璃基板表面；有益效果为：本发明提供的测试基板，在基板表面制备刻蚀层，用于被干刻设备刻蚀形成图案，且阻挡刻蚀力作用于基板表面，保护基板表面不被雾化，进而延长基板使用寿命。