一种半导体制造设备的预测性维护与健康管理的方法

摘要

本发明涉及半导体制造的智能维护领域，公开了一种半导体制造设备的预测性维护与健康管理的方法，包括建模策略模块、模型训练模块和故障预测模块，建模策略模块确定设备的关键组件与建模策略，模型训练模块仅利用健康状态数据训练关键组件的模型，故障预测模块根据实时数据更新模型并实时预测关键故障类型；建模策略模块输出需要进行预测性维护的关键组件，以及应该作为预测性维护目标的关键故障模式，作为模型训练模块的输入，模型训练模块对所选关键性组件的关键故障训练模型，最终由故障预测模块建立模型成长的体系进行故障预测。