一种激光倍频晶体表面立式测量系统及性能表征方法

摘要

一种激光倍频晶体表面立式测量系统及性能表征方法，该系统包括高刚度基板、支撑框架、载物板、晶体安装框、高精度激光位移传感器、控制器模块和X、Y、Z向精密电动平移台；通过Y向和X向平移台的交替间续运动，高精度激光位移传感器对倍频晶体通光口径表面进行逐点采样，获取面形信息；在高洁净光学测量环境中进行大口径激光倍频晶体表面性能表征操作时，在完成初始操作后，测量系统可在其控制器模块的控制下自动按特定轨迹完成采样并计算出用来表征倍频晶体表面性能的GRMS值；本发明测量系统可满足大口径激光倍频晶体表面水平姿态测量需求，表征方法科学、简明，适用于高功率惯性约束聚变激光器中倍频晶体面形控制方法研究和现场装配校准测试。