探针、制备方法及其在扫描电容显微镜中的应用

摘要

本发明提供一种探针、制备方法及其在扫描电容显微镜中的应用，所述探针包括：一悬臂梁基底及一设置在所述悬臂梁基底上表面的针尖，在所述针尖上覆盖有一导电层，在所述导电层上覆盖有一介质层，所述导电层、所述介质层与待测的半导体样品形成导体‑氧化物‑半导体电容器。本发明的优点在于：第一，简化扫描电容显微镜操作过程，提高扫描电容显微镜测试样品的兼容性；第二，探针与样品接触直接形成MOS电容器，增加介质层的电容信号对测量结果的贡献，本发明提供的新型探针对于扫描电容显微镜在检测电子器件的结构和电学性能上具有重要作用。